1200℃双区域滑动PECVD系统

达峰时间- 1200 - 1200滑移式双温区PECVD系统由达峰时间- 1200 - 1200卡瓦式双温真空管炉、石英真空室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统。

主要特点:

1.通过射频电源使石英真空室中的气体变为离子态。

2.在化学气相沉积中，PECVD比普通CVD要低

3.沉积薄膜的应力可以通过RF电源的频率来控制

4. PECVD具有高沉积速率，良好的均匀性，比正常CVD的良好，一致性和稳定性。

5.广泛用于各种薄膜的生长，如SiOx, SiNx, SiOxNy和非晶硅(a-si: H)等。

本幻灯片TL1200-1200型双温度PECVD系统技术是一种快速加热、冷却温度的PECVD系统技术，是在双温度范围内安装在一对滑轨上的PECVD系统，技术可用手动滑动系统。

加热和冷却速率高达100°C / min。

先将炉膛加热到设定温度，再将炉膛移至样品位置，以获得最快的加热速度。

为了获得最快的冷却，在加热样品后将炉子移动到另一端。

真空或惰性气体环境下的加热和冷却速率可达10°C / s，是双PECVD系统技术的低成本快速加热和冷却温度范围。

1.瑞典的Kanthal A1电阻线

Kanthal A1原装线中国电阻钢丝炉与进口电阻线炉

(1)、高表面温度可达1420℃

(2)表面为不锈钢(非常光亮，客户要注意)，不会生锈，使用时间不会掉渣。

（3）下载Kanthal电阻线的数据

（4）Kanthal电阻线网站：www.kanthal.com

（5）电阻平衡，温度场同样好

大多数厂家使用掺钼铁铬铝合金电阻丝，使其具有良好的耐蚀性

有时电阻不均匀，部分热量小，坎塔尔A1电阻均匀，热量平衡，温度场效应好

2.空气开关及漏电保护器的安装:

当有电流或漏电时，空会自动断开。

3.可与计算机连接

本炉配有通信接口和软件，可以直接通过炉膛计算机控制各参数，并可以从计算机上观察炉膛PV和SV的温度值及仪表的运行情况，计算机实时绘制炉膛的实际温度曲线，并能保存每次的温度数据，可随时调用

4.chamber

（1）高品质的高纯氧化铝多晶纤维固化炉，具有真空吸力和过滤成型。

(2)采用日本技术成型。

(3)根据日本最佳热工工艺布置电阻丝的间距和节距，利用热工软件对温度场进行模拟

(4).采用4周加热，温度更均衡

5.可选配UL认证电器板(所有通过UL认证的进口电器)

6.触发

软启动电流限制触发器大多数制造商使用非限制性厦门BODE触发器

1相移触发器（具有软启动和限流功能）

2.限流功能无论如何调整我们电炉加热时间后，变压器二次电流被限制为170A以下的限制保护设备。如果加热速率设置不正确或太快，无限制触发。小电流电流很大，设备会跳闸或烧坏。

3软启动功能电流将慢慢提高电流的电流冲击的冲击较小是有利于加热元件寿命的延伸

4保护功能如果电流超过限制电流触发会自动切断触发功能切断保护炉的电流。

7.UL认证的变压器

1 .变压器电缆为纯铜

2变压器声音很小

3变压器温度低

8.多种选择可选择多种法兰(直径从25到250mm)

模型	达峰时间- 1200 - 1200 - I	达峰时间- 1200 - 1200 - ii	达峰时间- 1200 - 1200 - 3	达峰时间- 1200 - 1200 - 4
权力	3 kW.	3 kW.	4 kW.	4 kW.
管尺寸	120（OD）X1800MM DIA	60(外径)X1800mm直径	80(外径)X1800mm直径	100（OD）X1800MM DIA
总体尺寸（LXDXH）	1800 x480x680	1800年x410x610	1800年x410x610	1800 x460x660
电源电压	220 V.
滑轨材料	304不锈钢
滑模	不锈钢滚动轴承
阶段数量	单相
加热元件	导入瑞典Canthal A1电阻线点击进入数据下载
控制模式	采用余电程控温度计(标准) 1. 30节目控制温度智能PID调整。 2.电炉加热电路在受到保温保护或意外断开时，可自动切断。(当炉温超过1200度或热电偶断开时，主电路上的交流继电器将自动断开，主电路断开，面板上亮灯熄灭，限制保护电炉。 3.使用485个通信接口（标准和选择软件标准） 4.具有停电保护功能，即当断电时，程序不会从起始温度开始启动，但断电时炉膛会开始上升。 该仪器具有温度自置的功能 (更换进口仪器，需另付费用。) FP93温度控制表（Shimaden）欧洲的乐器 触屏设备
温度控制方式	PID
不平衡保护和显示	是的
在温度保护	是的
过电流保护	是的
控制精度	+ / - 1℃
触发	移相触发器
电器	浙江正泰集团
可控硅	德国西门106/16号e
最高的温度	温度Zone1: 1200℃温度带2:1200℃
额定温度	温度Zone1: 1100℃温度带2:1100℃
升温速率	20.℃/最少(可根据需要修改)
推荐的加热速度	10℃/最少
模型的热电偶	1区:K型温度范围2区:K型
加热长度	区域1:温度范围200mm, 2:200mm
电子认证	ce
周围的表面温度	45℃或更少
RF电源	(等离子发生器)
输出功率范围	0 - 500 w
最大反射力量	200 w。
工作频率	RF：13.56 MHz加入或减去0.005％
功率稳定	+ / - 0.1％
谐波分量	- DBC 50或更少
射频宽度	0-600 - mm可调
匹配模式	自动
冷却方式	空气冷
噪音	< 50分贝
射频接口	50 Ω N -型
输入功率	208-240 - v 50/60 hz
GX供气系统主要参数	质量流量计 标准范围 使用质子流控制器5、10、20、30、50、100、200、300、500 SCCM, 1、2、3、5、10 SLM (可以选择量程范围和气体类型) 最大工作压力3 mp 正负1.5%的精度 压降<0.01 mpa 重复精度±0.2% F.S
渠道：	1、2、3、4、5、6、7、8(选配)
联合类型	双卡式不锈钢接头
系统工作压力范围	0.1〜0.5 mpa
工作温度	5-45℃
压力真空表	0.1〜0.15 MPa至0.01 MPa /案例
静态混合室	Dia50 X 400毫米
界面	Dia6 1/4“
电力供应	220 V.
尺寸	600 x600x600
波纹管	KF25X1000mm
利用该系统可以达到真空度	10:1的巴勒斯坦权力机构
真空挡板阀	kf25
VRD至8真空泵
模型	VRD 8
限制部分压力	5 x10-2 Pa
进气排气接口	kf25
电机速度	1440转
萃取率	2.2升/秒
电机功率	0.4千瓦
完善ACP1无油多级根泵（计划2）
模型	ACP15
电源供应	AC100〜240V 50 / 60Hz
力量	450 W.
排气界面	kf25
重量	25公斤
最大氦泄漏速率为	5·10-8 pa m3 / s
极端的真空度	0.02托尔
提取率是	14 m3 / h
模型	ZDR - 1
权力	25 w。
真空度测量范围	0.1 -10年5 Pa
电阻硅	什么zj必须达到52吨
瑞典(INFICON)皮拉尼电容真空计(可选)
模型	PCG554.
输入电压	24V 1A直流(配有220V变压器)
真空计接口	kf16
数字显示	数字显示(屏幕尺寸20x14mm)，数据显示单元为torr
产品尺寸	46mm × 28mm × 126mm(长×宽×高)
重量的重量	5磅
检测的气体	可以检测各种气体，包括混合气体，准确和可重复。
是否防腐	防腐蚀保护
响应时间	30毫秒或以下
测量范围	3.8 x10 - 5 - 1125托。
分子泵装置（可选）
单位输入电压	380 v / 220 v
波纹管	KF40X1000
真空挡板阀	kf40
案例大小	600 x600x600
分子泵模型	FJ620
输入电压	380 v
分子泵入口法兰	DN160
分子泵抽气速率L/S(适用于空气)	600
分子泵限制压力（PA）	6 x 10-7
冷却系统	水冷式
冷却水压力（MPa）	0.1至0.2
冷却水温度	<25℃
环境温度	0〜40℃
建议启动压力	<100 pa
发动机真空泵RVP - 6
权力	0.75千瓦
电压	380 v
速度	1450 rpm.
进口直径	KF25 / KF40
泵排量(L/S)	6.
极限压力	4 x10-2 pa
德国Pfeiffer真空泵
电压	220 V.
权力	110 w。
提取界面	kf40
重量的重量	150公斤
泵速为前泵	0.9 m 3 / h
萃取率(N2)	33米/秒
复合真空计
复合真空计模型	二台
电力供应	220 v 55 w
控制精度	加上或减1％
真空计测量范围	10-5-10 5 Pa

部分	数字
tl1200 - 1200管式炉	1套
石英管	1
不锈钢法兰	1套
不锈钢挂钩	1
铝炉塞	3.
高温手套	一对
氧化铝坩埚	1
K热电偶	1
485转换接口和软件（可选的）	1套
说明书	1
法兰的支持	1
燃气供应系统	1
vs - 0.1 -空气提取系统	1
射频功率	1
套圈	4.个
光泽	1
真空挡板阀	1
CYL连接器（n代表频道数量）	N
阀门连接器	2
聚四氟乙烯管(N为通道数)	N * 5

1.我们提供机器电池技术支持。

2.我们供应全套的锂电池设备用于实验室研究、中试规模研究和生产林e。

1标准出口包装：内部抗污保护，外部出口木箱包装。

2由Express，Air，Sea根据客户要求提供的2次运输，以找到最合适的方式。

3 .产品在运输过程中出现的损坏，我们将免费为您更换损坏的部件。