炉的特性

• 在K型样品上固定一个高导热氧化铝平板样品架（2“Lx1”W），用磁铁驱动热电偶在石英管内手动移动，找到管内理想的温度位置进行蒸发或沉积。
• 一台NIST认证的精密温度监测器通过真空法兰上的馈通与热电偶和试样夹座连接。
• 一个磁铁嵌入在热块内，另一个磁铁放置在管外。移动外部磁铁，可移动管内热电偶试样架
• 炉内内置30段可编程温度控制器，可设定炉中心最高工作温度1200℃
• 一个小石英坩埚包括，它可以用来容纳蒸发材料或请在顶部晶圆沉积根据您的应用。

炉子功率

• 110VAC或208 - 240 VAC, 50/60Hz（下单时请确认电压）
• 1.5千瓦

最高温度

1200°C（<1小时）

连续温度

1100°C（连续）

最大加热速率

＜=20°C /分钟

加热区

• 加热区长度：8“（200mm），单区。下图显示了温度。分布在整个加热区，请点击放大。
• 恒温。区域：2.3“（60mm）（+/-1°C）@1000°C
• 在薄膜生长之前，您应根据自己的需要测量炉温曲线。

温度控制器

• 采用固态继电器PID自动控制，可编程30步
• 内置超温和热电偶故障保护
• 可选:炉子可由PC机操作，并安装一个控制模块. 请点一份MTS02-B控制模块需额外付费。

温度精度

+ / - 1°C

加热元件

Mo掺杂Fe-Cr-Al合金

管子尺寸

• 2“石英管(50mm外径x 44mm内径x 1000mm L)
• 包括两个纤维陶瓷管块，用于阻挡来自管室的热辐射(陶瓷块必须在加热前完全插入炉腔）
• 一个小石英船是用来放置样品或蒸发材料。

真空法兰

2"默认法兰与1/4" Bard配件，1/4"管馈电端口(1/4"外径热电偶插入)和KF25真空端口（单击下面的图片查看详细信息）

真空度

10^－２托(通过机械泵)

合适的港口
&
可选零件

• 你可能需要一个真空端口端真空阀(点击左图订购)
• 你可以考虑订购。快速连接法兰在额外的成本。

• 您可以订购多通道气体输送系统的DVD或CVD操作。

尺寸

带盖：1055mm（长）×300mm（宽）×400mm（高）
开盖:1055mm (L) × 300mm(W) × 560mm(H)

净重

22公斤

航运包大小

48 "(长)x 24 "(宽)x 28 "(高)

装运重量

120磅

担保

一年的有限保修与寿命支持(易耗件，如加工管和o形圈不在保修范围内。

笔记本电脑，软件和WiFi控制(可选)

• 全新笔记本电脑，微软视窗10和微软Office 2013(30天免费试用)，可立即使用。
• 基于Labview的温度控制系统允许用户编辑温度曲线，管理热处理配方，记录和绘制MTI炉的数据。
• 一个无线遥控提供高达300米的操作范围。
• 以上功能可根据要求提供，需要额外的费用(高达1,000美元)。如需更多信息，请与我们联系。

顺从

应用笔记