3温度区150mm OD PECVD炉

Tmax-1200-1200-1200系统由TL1200真空管炉、石英真空室、射频电源、GX供气系统、抽气系统和真空测量系统组成。

主要特点：

通过RF电源将石英真空室中的气体变为离子状态。

2.在化学气相沉积中，PECVD比普通CVD要低。

3.沉积膜的应力可以通过RF电源的频率来控制。

4.与普通CVD相比，PECVD具有沉积速率高、均匀性、一致性和稳定性好等优点。

5.广泛用于各种薄膜的生长，如SiOx，Sinx，SiOxny和非晶硅（A-Si：H）等。

TL1200 - PECVD系统技术到瑞典kanthal电阻线加热元件，采用双壳结构和30个节目温度控制台，相移触发，晶闸管控制，炉子使用多晶氧化铝纤维材料，可以在两端不锈钢法兰密封炉管，不锈钢法兰安装有口，阀门和压力表，真空，真空度可达10-3 PA，低温场平衡，表面温度，提升温度，节能，价格优惠等。

1.瑞典Kanthal A1电阻丝

Kanthal A1原装电阻丝炉VS进口电阻丝炉

（1），高表面温度可达1420℃

（2）表面是不锈钢（非常明亮，客户应该注意它），它不会生锈，并且使用时间不会脱离渣。

(3)下载康塔尔电阻丝数据

(4)康塔尔电阻丝网站:www.kanthal.com

(5)电阻平衡，温度场同样好

大多数制造商使用Mo电阻线掺杂Fe-Cr-Al合金，这

有时，抵抗不均匀，部分热量是小Kanthal A1电阻是均匀和热平衡，温度较好的效果

2.安装空气开关和泄漏保护器：

当电流或泄漏时，空白会会自动断开连接。

3.可以与计算机连接

该炉配有通信接口和软件，可以直接通过每个参数的炉子控制，可以从电脑PV的炉子和SV温度值和仪器操作中观察，炉曲线绘图计算机的实际温度。实时，并且可以保持每次的温度数据，可以随时呼叫

4.室

（1)高品质高纯氧化铝多晶纤维固化炉，采用真空吸滤成型。

（2）。采用日本技术形成。

（3）。炉中电阻线的间距和间距根据日本的最佳热技术进行排列，温度场通过热软件模拟

（4）。使用4周加热，温度更加平衡

5.可选的UL认证电气板（通过UL认证进口电器）

6.触发

软启动限流触发器大多数厂家采用无限制的厦门博德触发器

移相触发器1个(具有软启动和限流功能)

2.电流限制功能无论如何调节加热时间，在变压器二次电流限制为170A或更少限制的设备后，无论如何调整电炉。如果加热速率设置不正确或太快，则非限制性触发器。低电流电流非常大，设备跳闸或烧坏。

3 .软启动功能电流会慢慢增大，电流对加热元件的影响较小，有利于延长加热元件的寿命

4保护功能如果电流超过限制电流，则触发器将自动切断触发功能以切断电流保护炉。

7. UL认证变压器

1变压器电缆是纯铜

2变压器声音小

3变压器温度过低

8.各种选项选择各种法兰（直径25至250mm）

模型	Tmax-1200-1200-1200——我	Tmax-1200-1200-1200-ii.	Tmax-1200-1200-1200-iii.	Tmax-1200-1200-1200-IV
管的大小	120(外径)X1800mm直径	60（OD）X1800MM DIA	80（OD）X1800MM DIA	100(外径)X1800mm直径
外形尺寸(LXDXH)	1800年x480x680	1800 x410x610	1800 x410x610	1800年x460x660
电源电压	220 v
滑轨的材料	304不锈钢
滑动模式	不锈钢滚动轴承
数量的阶段	单相
加热元件	导入瑞典千兆A1电阻线点击数据下载
控制模式	使用余电器控制温度计（标准） 1.30 .程序控制温度智能PID调节。 2.当通过意外温暖或破碎保护时，电炉的加热电路可以自动切断。（当炉温超过1200度或热电偶破坏时，主电路上的交流继电器将自动断开，主电路破碎，面板上的灯熄灭，关闭光，保护电炉有限。 3.带485通讯接口(标准及软件选择标准) 4.它具有电源故障保护的功能，即当电源关闭时，程序将无法从开始温度启动，但电源关闭时炉将开始上升。 本仪器具有温度自定功能 （更换进口仪器，我们需要支付另一笔费用。） FP93温度控制表(SHIMADEN) 欧洲仪器触摸屏仪器
温度控制模式	PID
破碎甚至保护和显示	是的
过温保护	是的
过流保护	是的
控制精度	+ / - 1℃
触发器	相移触发器
电器	浙江街
硅控制整流器	106 / 16E西门，德国
最高温度	温度ZONE1：1200℃温度4：1200℃
额定温度	温度ZONE1：1100℃温度区2：1100℃
加热率	20℃/ min或更少（可以根据要求修改）
推荐的升温速率	10.℃/分钟或更少
热电偶模型	区域1：k型温度范围2：K型
加热长度	区域1：温度范围为200毫米。2：200毫米
电气认证	CE
周围的表面温度	45.℃或更少
射频电源	（等离子发电机）
电源输出范围	0-500 W.
最大反射功率	200瓦。
工作频率	Rf: 13.56 MHZ正负0.005%
功率稳定性	+ / - 0.1%
谐波成分	- 50或更少DBC
rf宽度	0-600 - mm可调
匹配模式	自动的
冷却模式	寒冷
噪音	<50 dB
射频接口	50Ωn - 类型
输入功率	208-240 - v 50/60 Hz
GX燃气供应系统的主要参数	质量流量计 标准的范围 使用质子流量控制器5,10,20,30,50,100,200,300,500，300，500 sccm，1,2,3,5,10 slm （您可以选择范围和气体类型的范围） 最大工作压力3 MP 加号或减去的准确性1.5％ 压降< 0.01 mpa < p = "" > 重复精度加或减去0.2％F.S
Channles:	1、2、3、4、5、6、7、8(选配)
联合类型	双盒不锈钢连接器
系统工作压力范围	0.1 ~ 0.5 MPa
工作温度	5-45℃
压力真空手表	0.1 ~ 0.15 MPa ~ 0.01 MPa/箱
静态混合室	DIA50 x 400 mm
接口	Dia6 1/4 "
电源	220 v
大小	600年x600x600
波纹管	kf25x1000mm.
可以使用该系统达到真空度	10-1 PA
真空挡板阀	KF25
VRD到8个真空泵
模型	VRD到8
限制分压	5 x10-2 pa.
进气排气接口	KF25
电动机转速	1440 rpm.
提取率	2.2 L / s
电机功率	0.4 kW.
ACP1无油多级罗茨泵(方案二)
模型	ACP15
电力供应	AC100 ~ 240V 50/60hz
权力	450 w
排气接口	KF25
重量	25千克
最大的氦泄漏率是	5·10-8 Pa m3 / s
极端真空学位	0.02托
萃取速率为	14 m3 / h
模型	ZDR - 1
力量	25 w。
真空度测量范围	0.1-10 5 PA
电阻硅	ZJ对52 t
瑞典（婴儿遗传）Pirani电容真空仪（可选）
模型	PCG554
输入电压	24V 1A DC（配有220V变压器）
真空计界面	KF16
数字显示	数字显示（屏幕尺寸20x14mm），其数据显示单元是托的
产品尺寸	46mm x 28mm x 126mm（l x w x h）
重量	5磅
检测气体	可检测多种气体，包括混合气体，准确、重复。
是否抗腐蚀	腐蚀保护
响应时间	30毫秒或更少
测量范围	3.8 x10-5-1125托。
分子泵单元(选配)
单位输入电压	380 v / 220 v
波纹管	kf40x1000
真空挡板阀	KF40
情况下大小	600年x600x600
分子泵
分子泵模型	FJ620
输入电压	380 V.
分子泵进口法兰	DN160
分子泵泵率L / S（空气）	600
分子泵极限压力(Pa)	6 x 10-7
冷却系统	水冷
冷却水压力(MPa)	0.1到0.2
冷却水温	＜ 25℃< p = "" >
环境温度	0 ~ 40℃
建议的起始压力	< 100pa < p = "" >
发动机真空泵RVP - 6
力量	0.75 kW.
电压	380 V.
速度	1450转
进口直径	kf25 / kf40
泵排量(L/S)	6
终极压力	4 x10-2 pa.
德国Pfeiffer真空泵
电压	220 v
力量	110 w。
提取接口	KF40
重量	150千克
前泵的泵速	0.9米3 / h
提取率（N2）	33米/秒
复合真空计
复合式真空计型号	ZDF.
电源	220v 55w
控制精度	±1%
真空计测量范围	10-5-10 5 PA

1.我们提供机器有电池技术支持。

2.我们供应全套锂电池设备实验室研究，试点规模研究和生产林e。

1、标准出口包装:内部防撞，外部出口木箱包装。

2 .发货方式有快递、空运、海运等，可根据客户要求寻找最合适的方式。

3负责运输过程中的损坏，将免费改变您的损坏部分。