紧凑型旋转涂布机（最大8000 rpm，4个“晶圆最大”）带3套真空夹具和完整配件

结构

· 铝制铸造盒保持旋转稳定

· 液体盘抵抗大部分腐蚀性解决方案

· 排水口和真空泵连接器位于后面板上

· 一个过滤器包含在标准包中。它用于连接涂布机以防止流入泵的废水

· 标准包装中包含一个油的真空泵

腔室＆真空夹头

· 腔室直径：145毫米

· 3组PP防腐蚀真空吸盘与Chuck O形圈有不同的尺寸（1'，2'和4''）

· 包含1件胶带（6''W X 24'L）用于涂覆不规则形状的基板（例如，将不规则基板放在胶带上，然后真空夹头将通过抽吸保持胶带）

· 迷你吸杯可用于小晶片，小晶片，较少的1“Dia。或具有规则（5×5或10x10mm）或不规则形状的基板。

真空泵

· 空气级橡胶管包括立即使用

旋转速度和时间

· 数字控制面板二用于不同自旋时间和速度的可编程段

· 纺纱速度：500 - 8000 rpm

· 纺纱时间：1 - 60s

液体注射

· 20ml注射器用于含有涂层材料

· 注射器支架高度可以沿支撑杆自由调节和旋转

可选的

· 您可以选择精密电子单通道移液管：20 - 200ul以便更加精确涂层

· 使用等离子体清洁剂在涂层之前处理基材表面可以提高膜质量

· 您可以考虑我们的新产品：可加热的注射器

· 真空闪光灯组件，用于DIY真空闪光辅助溶液工艺（VASP），可提供高达5 mtorr

输入功率

110VAC或220VAC请选择选项栏中的电压（10A保险丝）

电机功率

24V直流电机，最大150W。

产品尺寸

13'''（l）x 10''（w）x 8.5'（h）

净重

15公斤（33磅）

遵守

· CE认证

保修单

· 一年有限，终身支持

· 由于储存条件或维护不当而导致的生锈和损坏不受保修范围

装运重量

46千克（100磅）

申请笔记

· 为了实现最佳的涂料质量，请在涂层之前考虑通过等离子体清洁剂清洁基材。这将显着降低基板上的表面张力。

· 旋转涂料的清洁指令。

· 您可以考虑我们的新产品：可加热的注射器和可加热盖的旋转式涂料

· 强烈建议您将涂布机放在烟筒下面，如右侧

· 使用AR气体的手套箱中的涂布机时，真空泵必须通过真空馈通或适配器放入手套箱外

警告

· 不要用任何种类的液体溢出水碗/底座。过量的液体会泄漏到电机轴中并导致损坏。请使用织物布擦拭船头/底部残留物。

· 如有必要，在冲洗水碗/底座时打开水出口以避免在操作期间溢出的液体。

运输尺寸

40“（l）x 28”（w）x 24“（h）

装运重量

46千克（100磅）