结构

· 铝制铸造盒保持旋转稳定

· 排水口和真空泵接头在后面板上

· 一个过滤器包含在标准包中。它用于连接泵和涂布机，以防止废水流入泵

· 一个无油泵包括一世n标准包。

腔室＆真空夹头

· 腔室直径为250毫米，可以接受晶圆8“直径最大。或5”x5“正方形

· 纺纱室由PP制成，耐腐蚀性

· 包含一个6“真空吸盘和卡盘O形圈，用于保持6”和8“晶片

· 1片胶带(6 " W x 24 " L)包括为大小< 6的不规则形状的基片或晶圆涂层

旋转的速度

· 数字控制面板，具有两个可编程段的不同旋转时间和速度

· 每个段的500 - 6000 rpm可调纺纱速度

液体注射

· 使用20mL注射器装包衣材料

· 注射器支架高度可以沿支撑杆自由调节和旋转

可选的

· 您可以选择精密电子单通道移液管：20 - 200ul以便更加精确涂层

· 使用等离子体清洁剂在涂层之前处理基材表面可以提高膜质量

· 您可以考虑我们的新产品：可加热的注射器

· 真空闪光灯组件，用于DIY真空闪光辅助溶液工艺（VASP），可提供高达5 mtorr

· 加热盖，数字温度控制器可达100°C（最大持续时间<1分钟）可以额外的成本（2495美元）提供，可在涂层期间和后原位样品干燥。

输入功率

· AC 110V / 220V可选

· VTC-200旋转涂布机的右侧有一个内置电源插座。它用于为真空泵提供电力。该电源的输出电压取决于旋转涂布机的主电路的输入电压。（例如，如果旋转涂布机插入AC 110V电源插座，那么内置电源插座将提供AC 110V）

电机功率

90 vdc, 150 w

产品尺寸

500mm(长)x 400mm(深)x 400mm(高)

净重

20公斤(44磅)

遵守

· CE认证

保修单

· 一年有限，终身支持

· 由于不适当的储存条件或维护而造成的锈蚀和损坏不在保修范围之内