1200°C双区域CVD管炉带质量流量控制系统和真空系统

这是我们产品的视频链接。

https://www.youtube.com/watch?v=fzljvmxq1py& t=37s.

在真空状态下作为CVD，扩散和其他热处理的实验和屏蔽气体保护是能力的。炉子配有2通道数字LED显示MAS流量控制站。

1.管炉

详细的技术参数S.

模型	TL1200-1200-I.	TL1200-1200-II	TL1200-1200-III	TL1200-1200-IV.
力量	3.6kw.	3.6kw.	3.6kw.	5.2KW.
管尺寸（od）（毫米）	Dia60（od）x1000mm.	Dia80.（od）x1000mm.	DIA100（od）x1000mm.	DIA150（od）x1000mm.
方面	1140x460x695	1140x460x695	1140x460x695	1110x530x647
电源电压	220V.
阶段	单相
加热元件	从瑞典Kanthal A1进口的电阻丝（电阻丝保证2年）
温度控制	UAV程序温控仪器（标准） 1、30级程序控温智能PID调节。 2。和过温保护，这电炉加热电路是自动地切离开什么时候这温度过度温度或破碎，（当电炉温度超过1200度或热电偶时，主电路上的交流继电器将自动断开，主电路破碎。在面板上的灯熄灭，关闭光线，并有限保护电动炉）。

	3，具有485个通信接口（购买软件时标准） 4，具有断电保护功能，即当电源关闭电源时，程序不会从起始温度开始，但炉温从电源故障时升高。 5，仪表具有温度自调整的功能
炉材	1。 高品质的高纯度氧化铝多晶纤维固化炉采用真空吸力形成过滤。 2。 由日语形成技术。 3. 炉内的电阻线的间距和间距全部根据日本的最佳热技术排列，温度场通过热量模拟软件。
阀门和法兰

60/80/100顶视图
控制精度	+/- 1℃
扳机	相移触发
电器	浙江街
可控硅	106 / 16E Simenkang，德国
第一和第二个最高温度 温度区域	1200℃
额定温度在第一个和第二 温度区域	1100℃
加热部分的长度第一的 温度区	205mm.
第二次加热部分的长度 温度区	205mm.
常数长度 温度截面	80毫米

区
第二个恒温部分的长度 温度区	80毫米
加热率	≤30.℃/ min（它可以根据需要修改）
温度场曲线
推荐率 温度升高	≤15.℃/分钟
热电偶类型	K型
恒温 长度	150毫米
外围表面 温度	≤45.℃
开放式保护 系统	当炉盖打开时，继电器将自动切断主电源，有效地确保 用户的安全

2.供气系统

燃气供应系统简介：

（1）（混合）气体系统的组分：

a）浮动流量计或质子流量计

b）压力表

c）截止阀

d）接口板

e）阀门连接器

f）气缸连接器

g）Teflon管（用于气体供应或混合系统站和气缸连接管的连接管）

h）混合气罐

i）不锈钢管（用于供气或混合控制系统站的连接管）

j）覆盖

主要技术数据

不	物品	D08-2E.
1	输出功率	+ 15V±5％300mA -15V±5％600mA
2	参考来源	+ 5.00V±0.1％5mA
3.	电源供应	〜220V /〜110±10％50 / 60Hz
4.	最大功率	25W
5.	输入和输出信号	0〜+ 5V
6.	尺寸	标准尺寸:(440x100x220）毫米 最大尺寸:(440年x114x278）毫米
7.	重量	4.2kg.
8.	控制通道数字和显示功能	2通道MFC / MFM和2显示监视器

3.真空系统

该系统（可以将真空泵泵送到0.6pa）由带有KF25接口的吸盘（自制），高真空挡板法，电阻真空计，波纹管，支架（自制），真空泵连接TEE在法兰出口处的管道，将电阻硅连接到三通管道的一端，将高真空挡板阀连接到另一端，将挡板阀和真空泵与Dia25的波纹连接，并使用KF25快速使用为连接端口夹。

技术参数：

*分配调节：ZJ-52T电阻计

*测量范围：10 5〜10 -1 PA

*测量次数：1路

*控制渠道数量：2道路可以扩展到4或8道路

*控制范围：5×10 3〜5×10 -1 PA

*控制模式：继电器触点输出，负载容量AC220V / 3A（或DC28V / 3A）非归纳负载

*功率：90-260V / 50Hz或220V±10％50Hz

*功耗：25W

*重量：4kg / 3kg / 0.5kg（取决于底盘）

*底盘尺寸：240×88×280或265×119×280或96×96×120

480×88×280或480×119×280（宽×高度×深度）

性能特点：

* LED绿屏数字显示。

*广泛的明星调查

*快速响应速度

*微电脑校正调节非线性并降低测量误差。

*光学隔离，数字滤波，增强的抗干扰能力。

* PVC彩色面板，外观美观。

*点控制或区域继电器控制输出，而设定点具有掉电保护存储器功能。

采用FX-16真空泵

标准套餐

部分说明	数量	部分映像
Tmax-2-1200-c分体管炉	1套
多通道气体供应系统	1套
真空泵和机箱（可选）	1套
石英管	1个
模拟流量计	1个
不锈钢真空密封法兰W /压力表	1套
不锈钢钩	1个
氧化铝陶瓷保温块	2对
热手套	一对
高温al.2O.3.氧化铝坩埚	5个PC.
备用保险丝	2个
USB / RS485计算机接口套件	1套

1。我们提供机器电池技术支持。

2。我们供应全套锂电池设备实验室研究，试点规模研究和生产林e。

1标准出口包装：内部抗污保护，外部出口木箱包装。

2由Express，Air，Sea根据客户要求提供的2次运输，以找到最合适的方式。

3负责运输过程中的损坏，将免费改变您的损坏部分。