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1200℃双区滑动CVD炉
型号:
Tmax-1200-1200-c顺从:
CE认证保修单:
两年有限保修终身技术支持支付:
L / C D / A D / P T / T Western Union交货时间:
15天
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1200℃双区滑动CVD炉
这是我们产品的视频链接。
https://www.youtube.com/watch?v=FzLjvMXq1pY&t=37s
气相沉积体系Tmax-1200-1200-c由滑动管式炉,石英真空室,GX气体供应系统,提取系统,真空测量系统和ALD系统组成。
这Tmax-1200-1200-c原子层气相沉积系统采用Kanthal A1电阻丝加热元件,采用双壳结构和30程序温控表,零通道触发器,晶闸管控制,炉体采用多晶氧化铝纤维材料,炉管两端可采用不锈钢法兰密封,不锈钢法兰安装有口、阀和压力表,真空度、真空度可达10-3pa,低温场平衡,表面温度、升降温率、节能、价格优惠等。
开盖保护系统:炉子配有行程开关。当盖子打开时,它会自动切断电源,确保用户的安全。
1.瑞典的Kanthal A1电阻线
Kanthal A1原装线中国电阻钢丝炉与进口电阻线炉
(1) ,表面温度高达1420℃℃
(2) 表面为不锈钢(非常光亮,客户要注意),不会生锈,使用时间不会掉渣。
(3)下载Kanthal电阻线的数据
(4)Kanthal电阻线网站:www.kanthal.com
(5)电阻平衡,温度场同样好
大多数生产厂家都采用掺钼铁铬铝合金电阻丝,这种电阻丝
有时电阻不均匀,部分热量小,电阻均匀,热量平衡,温度场效果好
2.空气开关及漏电保护器安装:
当电流或漏电时,空会议自动断开。
3.可与计算机连接
本炉配有通讯接口和软件,可直接通过炉内计算机控制各参数,并可从计算机上观察到炉内PV和SV的温度值及仪表运行情况,实时绘制炉内实际温度曲线,并且可以保存每次的温度数据,可以随时调用
4.chamber
(1)高品质的高纯氧化铝多晶纤维固化炉,具有真空吸力和过滤成型。
(2). 采用日本技术形成。
(3). 根据日本最佳热工工艺布置炉内电阻丝间距和节距,并用热工软件模拟温度场
(4). 使用4周加热,温度更平衡
5.可选UL认证电路板(全部通过进口电器UL认证)
6.触发器
软启动电流限制触发器大多数制造商使用非限制性厦门BODE触发器
1相移触发器(具有软启动和限流功能)
2.限流功能无论怎样调节加热时间我们都将电炉后变压器的二次电流限制在170A以下,对设备进行限制保护。如果加热速率设置不正确或过快,则触发非限制。低电流非常大,设备将跳闸或烧毁。
3软启动功能电流将慢慢提高电流的电流冲击的冲击较小是有利于加热元件寿命的延伸
4保护功能如果电流超过极限电流,触发器将自动切断触发器功能,切断电流保护炉。
7.UL认证变压器
1变压器电缆为纯铜
2变压器声音很小
3变压器温度低
8.多种选择多种法兰(直径25-250mm)
模型 |
TMAX-1200-1200-C-I |
Tmax-1200-1200-C-II |
Tmax-1200-1200-C-Ⅲ |
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权力 |
3 kW. |
3 kW. |
4 kW. |
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管尺寸 |
直径60(外径)X1800mm |
直径80(外径)X1800mm |
100(OD)X1800MM DIA |
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总体尺寸(LXDXH) |
1500X450X600个 |
1500X450X600个 |
1500X510X650型 |
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电源电压 |
220 V. |
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滑动模态 |
不锈钢滚动轴承 |
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阶段数量 |
单相 |
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加热元件 |
导入瑞典坎塔尔A1电阻丝点击进入数据下载 |
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控制模式 |
使用宇电程控温度计(标准) (更换进口仪器需另付费用) FP93温度控制表(Shimaden)欧洲仪器 触摸屏仪表
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温度控制模式 |
PID |
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盈亏平衡保护和显示 |
是的 |
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超温保护 |
是的 |
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过电流保护 |
是的 |
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控制精度 |
+ / - 1 ℃ |
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触发 |
相移触发器 |
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电器 |
浙江正泰 |
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可控硅整流器 |
106/16e西门,德国 |
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最高温度 |
温度ZONE1:1200℃温度区2:1200℃ |
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额定温度 |
温度区1:1100℃温度区2:1100℃ |
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加热速率 |
20℃/Min及以下(可根据需要修改) |
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推荐的加热速度 |
10℃/Min或更低 |
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热电偶型号 |
1区:K型温度范围2:K型 |
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加热长度 |
1区:温度范围200毫米。2:200毫米 |
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电气认证 |
ce |
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周围表面温度 |
45℃或更低 |
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RF电源 |
(等离子体发生器) |
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GX供气系统主要参数 |
质量流量计 |
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渠道: |
1,2,3,4,5,6,7,8(可选) |
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联合类型 |
双盒式不锈钢连接器 |
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系统工作压力范围 |
0.1〜0.5 mpa |
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工作温度 |
5-45℃ |
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压力真空表 |
0.1〜0.15 MPa至0.01 MPa /案例 |
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静态混合室 |
直径50 X 400毫米 |
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界面 |
Dia6 1/4“ |
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电源 |
220 V. |
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尺寸 |
600 x600x600. |
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波纹管 |
KF25x1000毫米 |
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用这个系统可以达到真空度 |
10-1公共广播 |
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真空挡板阀门 |
kf25 |
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VRD到8个真空泵 |
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模型 |
VRD至8 |
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限制部分压力 |
5 x10-2帕 |
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入口排气界面 |
kf25 |
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电机速度 |
1440转/分 |
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提取率 |
2.2升/秒 |
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电机功率 |
0.4千瓦 |
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完善ACP1无油多级根泵(计划2) |
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模型 |
ACP15 |
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电源供应 |
AC100〜240V 50 / 60Hz |
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力量 |
450 W. |
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排气界面 |
kf25 |
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重量 |
25千克 |
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最大氦泄漏率为 |
5·10-8 pa m3 / s |
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极端真空学位 |
0.02托尔 |
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提取率是 |
14立方米/小时 |
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模型 |
ZDR-1型 |
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权力 |
25瓦。 |
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真空度测量范围 |
0.1-10.5帕 |
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电阻硅 |
什么zj必须达到52吨 |
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瑞典(INFICON)皮拉尼电容真空计(可选) |
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模型 |
PCG554. |
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输入电压 |
24V 1A DC(配220V变压器) |
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真空计接口 |
kf16 |
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数字显示器 |
数字显示器(屏幕尺寸20x14mm),其数据显示单元为torr |
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产品尺寸 |
46毫米x 28毫米x 126毫米(长x宽x高) |
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重量的重量 |
5磅 |
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气体检测 |
可以检测各种气体,包括混合气体,准确和可重复。 |
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是否防腐 |
防腐蚀保护 |
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响应时间 |
30 ms或以下 |
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测量范围 |
3.8 x10-5-1125托。 |
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分子泵装置(可选) |
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单位输入电压 |
380伏/220伏 |
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波纹管 |
KF40X1000型 |
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真空挡板阀门 |
kf40 |
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案例大小 |
600 x600x600. |
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分子泵 |
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分子泵模型 |
FJ620型 |
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输入电压 |
380伏 |
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分子泵入口法兰 |
DN160型 |
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分子泵抽速L/S(空气用) |
600 |
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分子泵限制压力(PA) |
6 x 10-7 |
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冷却系统 |
水冷式 |
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冷却水压力(MPa) |
0.1至0.2 |
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冷却水温度 |
<25℃ |
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环境温度 |
0 ~ 40 ℃ |
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建议启动压力 |
<100 pa |
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发动机真空泵RVP-6 |
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权力 |
0.75千瓦 |
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电压 |
380伏 |
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速度 |
1450 rpm. |
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入口直径 |
KF25/KF40型 |
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泵泵率(L / s) |
6. |
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极限压力 |
4 x10-2帕 |
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德国Pfeiffer真空泵 |
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电压 |
220 V. |
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权力 |
110 w。 |
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提取界面 |
kf40 |
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重量的重量 |
150千克 |
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前泵的泵速 |
0.9立方米/小时 |
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萃取率(N2) |
33米/秒 |
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复合真空计 |
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复合真空计模型 |
ZDF公司 |
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电源 |
220 v 55 w |
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控制精度 |
加上或减1% |
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真空计测量范围 |
10-5-10.5帕 |
1.我们提供机器电池技术支持。
2.我们供应全套锂电池设备用于实验室研究、中试研究和生产e。
1标准出口包装:内部抗污保护,外部出口木箱包装。
2由Express,Air,Sea根据客户要求提供的2次运输,以找到最合适的方式。
3对运输过程中的损坏负责,将免费为您更换损坏部位。