1200°C PE/CVD炉配有射频发生器，气体混合和泵送系统

达峰时间- 1200 - pecvd。化学气相沉积（CVD）和等离子体增强的化学气相沉积（PECVD）多区分离管炉具有着名的Kanthal.^®(瑞典)电线加热元件内嵌高品质三菱^®（日本）氧化铝纤维绝缘。所有钢双层外壳确保耐用性，有助于将热量损失最小化到外表面。

炉操作由Shimaden.^®（日本）40段数字控制器，内置RS485数字通信端口和USB适配器，允许用户连接到PC进行遥控和监控炉子。您还可以保存或导出测试结果。

我们所有的炉子都符合CE。

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淬火炉

特征

1 紧凑，便携和轻巧的设计。

2 降低处理温度要求与传统CVDS相比。

3. 薄膜应力可以通过高/低频混合技术控制。

4. 分裂炉室快速和容易的管道访问。

5. 标准套件包括带阀门和压力表的一套不锈钢真空密封法兰。

6. 基于微处理器的自整定PID控制提供了最佳的热过程，具有最小的过冲。

7. 单个循环中的多个气氛过程是可能的（例如：粘合剂在空气中燃烧，粗糙真空或惰性气体环境下的零件烧结。）

8. 内置安培表和双伏特计，便于监测和故障排除。

9. 内置的计算机接口。

10. 长寿命K型热电偶。

11. 可滑动的炉选项为您提供超快速冷却速率

安全

1 如果温度超出可接受范围（参见控制器手册）或热电偶破坏或故障时，过热保护会关闭炉子。

2 在重新建立电源时，电源故障保护在故障后立即恢复炉操作。

警告！切勿用爆炸性气体填充炉，包括氢气，一氧化碳和甲烷。

炉、真空泵及气体混合系统规格

管材	石英
加热元件	Kanthal.®(瑞典)电阻线圈线
最大限度。vs恒定的工作温度	最大1200°C。和1100°C常数
热几个类型	K.
耐火衬里	三菱®(日本)1500级氧化铝纤维
温度控制器	Shimaden.®(日本)fp93有4个节目和40个片段 (即。4 × 10节或2 × 20节)
最大加热和冷却速率	< 30°C / min
温度控制器精度	±1°c(±1.8°f)
真空密封法兰套件	带真空计的不锈钢真空密封法兰， 两个阀门和四个热陶瓷块。
电力需求	208-240VAC，50/60 Hz，单相

射频发生器规范

电力需求	208-240伏特50/60 Hz
输出功率	5到500瓦，可调在+/-1%的步骤
射频频率	13 MHz +/- 0.005％稳定性
反射功率	最多200瓦。
匹配	自动的
RF输出端口	50 Ω， n型，女
冷却	空气

标准套餐

部分说明	数量	部分映像
分体管炉	1套
多通道供气系统	1套
等离子射频电源(选配)	1套
真空泵和机箱（可选）	1套
石英管	1个
模拟流量计	1个
不锈钢真空密封法兰带压力表	1套
不锈钢挂钩	1个
氧化铝陶瓷保温块	2对
热手套	一对
备用保险丝	2个
USB / RS485计算机接口套件	1套

1。我们提供机器电池技术支持。

2。我们供应全套锂电池设备用于实验室研究、中试规模研究和生产林e。

1标准出口包装：内部抗污保护，外部出口木箱包装。

2由Express，Air，Sea根据客户要求提供的2次运输，以找到最合适的方式。

3 .产品在运输过程中出现的损坏，我们将免费为您更换损坏的部件。