1200°C立式PECVD炉W / RF发电机，气体混合和泵送系统

Tmax-1200-PECVD化学气相沉积(CVD)系列和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)多区分体式管炉以其独特的性能而闻名Kanthal.®（瑞典）电线加热元件嵌入高质量三菱®(日本)氧化铝纤维绝缘。所有钢双层外壳确保耐久性，并有助于减少热损失的外部表面。

炉操作由Shimaden.®(日本)40段数字控制器，内置RS485数字通信端口和USB适配器，允许用户连接到PC进行远程控制和监控炉膛。您还可以保存或导出测试结果。
我们所有的炉子都符合CE。

特征

· 紧凑，便携和轻巧的设计。

· 降低处理温度要求与传统CVDS相比。

· 薄膜应力可以通过高/低频混合技术控制。

· 分离炉腔室，可快速轻松地进入。

· 标准套件包括带阀门和压力表的一套不锈钢真空密封法兰。

· 基于微处理器的自整定PID控制提供了最佳的热过程，具有最小的过冲。

· 单个循环中的多个气氛过程是可能的（例如：粘合剂在空气中燃烧，粗糙真空或惰性气体环境下的零件烧结。）

· 内置安培表和双伏特计，便于监测和故障排除。

· 内置的计算机接口。

· 长寿命K型热电偶。

· 可滑动的炉选项为您提供超快速冷却速率

安全

· 如果温度超出可接受范围（参见控制器手册）或热电偶破坏或故障时，过热保护会关闭炉子。

· 在重新建立电源时，电源故障保护在故障后立即恢复炉操作。

警告！切勿用爆炸性气体填充炉，包括氢气，一氧化碳和甲烷。

炉、真空泵及气体混合系统规格

管材	石英
加热元件	Kanthal.®(瑞典)电阻线圈线
最大限度。vs恒定的工作温度	最大1200°C。和1100°C常数
热几个类型	K.
耐火衬里	三菱®（日本）1500级纤维氧化铝
温度控制器	Shimaden.®(日本)fp93具有4个程序和40个分段 (即。4 × 10节或2 × 20节)
最大加热和冷却速率	< 30°C / min
温度控制器精度	±1°c(±1.8°f)
真空密封法兰套件	带真空计的不锈钢真空密封法兰， 两个阀门和四个热陶瓷块。
电力需求	220VAC，3.5kW，单相

射频发生器规范

电力需求	208-240伏特50/60 Hz
输出功率	5到500瓦，可调在+/-1%的步骤
射频频率	13.56 MHz，稳定性+/- 0.005％
反射功率	最多10瓦特。
匹配	自动的
RF输出端口	50 Ω， n型，女
冷却	空气

部分说明	数量	部分映像
分体管炉	1套
多通道供气系统	1套
等离子RF电源（可选）	1套
真空泵和机箱（可选）	1套
石英管	1个
Teflon Tube（N代表管数）	n * 5.
不锈钢真空密封法兰带压力表	1套
不锈钢挂钩	1个
氧化铝陶瓷保温块	2对
热手套	一对
高温al.2O.3.氧化铝坩埚	5个PC.
备用保险丝	2个
USB / RS485计算机接口套件	1套
炉子和Shimaden控制器手册	2个

1。我们提供机器电池技术支持。

2。我们供应全套锂电池设备用于实验室研究、中试规模研究和生产林e。

1标准出口包装：内部抗污保护，外部出口木箱包装。

2由Express，Air，Sea根据客户要求提供的2次运输，以找到最合适的方式。

3 .产品在运输过程中出现的损坏，我们将免费为您更换损坏的部件。