1200C三区CVD管炉配高真空站（1.0E-5 Torr）+ 4通道MFC加油站

这Tmax-3-1200系列炉工作站由三区管式炉、精密质量流量气控站、高真空站等组成。马克斯。工作温度为1200℃。最终的真空率达到10^-5托(提供密封组件)。质量流量气体控制站将几种气体混合在一起，并将混合后的气体输入炉膛内的熔融石英管中。可用于真空状态下的CVD、扩散等热处理和保护气体保护实验。该炉配有4通道数字LED显示mas流量气体控制站。

规格

管式炉	套管	双层钢壳，带空气冷却。 内置恒温器，可在壳体> 55°C时自动控制冷却运行。
	加工管	材质：熔融石英管
	热块放置
	力量	7千瓦
	额定电压	交流208-240V单相，50/60Hz
	加热元件	Fe-Cr-al合金被莫掺杂
	工作温度。	Max。加热温度：1200°C 连续工作温度：1100°C
	加热速率	加热速度：1〜20°C / min可编程
	加热区长度	总加热区:900mm (300mm + 300mm + 300mm)
	温度控制器。	三个精密温度控制器分别控制三个区域。 PID自动控制，具有30个步骤可编程段。 温度精度：±1°C 热电偶：K型内置炉内
	真空密封	一对不锈钢真空法兰： - 一个机械压力表 - 两个针阀 - 高真空站的一个KF-40连接器。
	额定电压	交流208-240V单相，50/60Hz
	维	1100（l）x 450（w）x 670（h），mm
高真空站	结构	手机尺寸：600（l）x 600（w）x 700（h），mm Max。装载:顶部600磅 分子泵控制面板:LCD数字显示 里面：德国制造的Pfeiffer真空泵 包括真空传感器
	体积流量	氮气N2 33l /s Heal He 39 L / S（2340L /分钟） 氢气H2 32 L / s
	工作范围	从1000毫巴到<1E-7曼巴
	极限压力	<1E-8 mbar(无泄漏)
	电压和电力	110VAC或220VAC，110W
气体控制	结构	2-9带PLC触摸板和PC操作软件的通道气体控制系统 LED显示屏 4通道MFC由316个不锈钢制成，具有以下气体流量： 控制器1:0 ~ 100 sccm 控制器2：1〜199 sccm 控制器3:1~199 SCCM 控制器4：1〜499 sccm 4通道气体通过气体混合罐：φ80x120mm. 尺寸：600（l）x 745（w）x 700(H)毫米
	力量	18W
	额定电压	交流208-240V，单相，50 / 60Hz

运输和保修

运输尺寸	总三个托盘（＃1：60“x 45”x 40“＃2：48”x 40“x 42”＃3：48“x 40”x 42“）
装运重量	850磅
保修单	一年有限保修 (加工管、o形圈、加热元件等易耗件不在保修范围内， 请在以下相关产品订购更换。)
遵守	CE认证 所有电气元件（> 24V）都是UL / MET / CSA认证 炉子准备以额外的成本通过TUV（UL61010）或CSA认证。（请点击标记

1。我们提供机器电池技术支持。

2。我们供应全套锂电池设备用于实验室研究、中试规模研究和生产林e。

1标准出口包装：内部抗污保护，外部出口木箱包装。

2由Express，Air，Sea根据客户要求提供的2次运输，以找到最合适的方式。

3 .产品在运输过程中出现的损坏，我们将免费为您更换损坏的部件。