精密温控高真空热蒸发涂布机

GSL-1700x-SPC-2是一种紧凑的热蒸发涂布机，具有精确和可编程的温度控制，适用于大部分金属和有机材料薄膜，从200ºC到1500ºC（或200ºC - 1700ºC）采用可选的B型热电偶）。内置可旋转的样品架以允许均匀的薄膜涂层。

规格：

结构与特点	6“OD X 10”H石英室，便于清洁和样品装载 2“均匀薄膜涂层的直径可旋转样品架 钨线圈加热器和氧化铝坩埚，高温涂料可达1700ºC 精密温度控制，30个可编程段和+/-1ºC精度 通过可选的涡轮泵可实现高真空可达1.0E-5 Torr 气流口和阀门内置用于腔室吹扫和CVD可能性
输入功率	输入电压：208 - 240 VAC 50/60 Hz，单相 输入功率：500 W 输出功率：40个最大电流。推荐的工作电流<20 a 没有插头的电源线
温度控制和加热器	钨线圈加热器与热电偶内置在氧化铝坩埚的底部（用于温度控制（PIC.1）。请参考尺寸的左图 标准S型热电偶（包括和安装） - 加热200ºC - 1500ºC（PIC.2） 可选的B型热电偶（以额外的成本） - 加热1200ºC - 1700ºC 一种数字温度控制器，具有30个可编程段和+/-1ºC精度（PIC.3） 温度控制器的时间设置有关秒。建议将温度加热/冷却速率限制在1200ºC以下0.3ºC/ S（或20ºC/ min）中，并限制在1200-1700ºC的0.15ºC/ s（或10ºC/ min） 用于连续加热1300以上ºC，请将操作时间限制在不到1小时内以保持底部法兰O形圈的使用寿命 对于高达2000°C的快速涂层，例如碳涂层所需的涂层，使用者可以直接去除热电偶，氧化铝热块和氧化铝坩埚，直接将蒸发材料直接进入钨线圈加热器，并使用电流手动控制模式（PIC. 4） 包括四个氧化铝坩埚（高达1700ºC）和两个钨卷加热器。请参阅订购备件的可选部分
样本持有人	一个50毫米直径。可旋转的样品阶段及其快门安装在顶部法兰上。 旋转速度：5 rpm 与样品保持器到蒸发源的距离可调节40 mm至85 mm
膜厚度监测器（可选）	精密石英厚度传感器是可选的。它可以内置在腔室中，以提供即时的薄膜厚度监测，精度为0.1A。腔室外的LED显示器单元可以： · 输入涂层材料信息信息基于附带的数据库 显示总涂层厚度和涂层速度 精确薄膜和涂层分析系统 - EQ-TFMS-LD以额外的成本提供
真空	安装KF25真空端口以连接到真空泵 最高真空可以通过用任选的涡轮分子泵泵送过夜来达到<4.0E-6 Torr 涂层需要真空泵。请选择以下产品选项 没有真空泵。防腐蚀性电容隔膜计包含最高为1.0E-6 Torr的真空 双级旋转叶片真空泵具有蒸气疏水阀，以消除油雾，可达到高达1.0E-2 Torr的真空，用于蒸发贵金属材料，如金，银和有机材料。
气体入口	内置1/4管拟合，用于腔室吹扫或形成气体加工 一个针阀内置以控制气体流速
可选的	额外的氧化铝坩埚和钨线圈加热器可以以额外的成本订购Tmax 总共4个蒸发源坩埚可用于沉积多个不同的材料，在同一室大气中逐一将多层生长。
整体维度
石英室尺寸	o.d.:165mm. I.D.:150MM 长度：250mm.
遵守	CE证书
保修单	一年有限保修寿命支持
净重	50千克
运输重量和尺寸	130磅，40“x 30”x 32“
申请笔记	为了达到一些材料所需的高真空，用户可以 检查腔室，O形圈和法兰，用于任何颗粒，纤维或划痕。使用用异丙醇（IPA）润湿的无绒纸擦拭干净表面 使用加热器胶带在150ºC下烘烤腔室，并在500ºC下预热线圈加热器并坩埚，同时用可选的涡轮泵泵送至少2小时 如果需要高于1.0E-5 Torr的真空，请泵送室过夜而不加热 将涂布机置于AR或N2气体手套箱中，用于谦逊和氧敏感材料的热蒸发，例如Li金属。 请勿启动加热程序或手动加速电流，没有封闭的腔室和真空！ 当涂布机处于蒸发操作时，请勿释放真空或停止泵送！在加热器冷却期间，只有在温度降低到100ºC以下时，才能停止泵送或释放真空！

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