精密四源热蒸发系统

温度控制器

GSL-1700X-EV4是一个紧凑的热蒸发系统，共有4个蒸发源坩埚和精密和可编程的温度控制。利用4个蒸发坩埚可以在同一腔室气氛中沉积多种不同的材料，从而形成多层膜。该系统适用于喷涂大多数金属和有机材料的薄膜，尺寸从200ºC到1500ºC(或200ºC - 1700ºC与可选的b型热电偶)。

规格:

结构与特点	280mm外径× 260mm内径× 310mm高石英腔，便于清洗和样品装入 2”直径可旋转蒸发源，用于均匀的薄膜涂层 用于1700ºC高温涂层的钨盘管加热器和氧化铝坩埚 精密温度控制30可编程段和+/- 1ºC精度 通过可选的涡轮泵，高真空度可达到1.0E-5 Torr 气体流动端口和阀门内置于室吹扫和CVD可能性
输入功率	输入电压:AC 208 - 240v 50/ 60hz，单相(110V AC可通过1500W变压器) 输入功率:1200w 输出功率:12v，最大电流30a。建议工作电流< 30a 不含插头的电源线
温度控制和加热器	四个氧化铝蒸发坩埚，每个容量为3ml。四个来源不能同时使用。多层膜的沉积将一个一个地进行。 钨盘管加热器与热电偶内置在氧化铝坩埚底部(用于温度控制(PIC。1).尺寸见左图 标准S型热电偶(包括和安装)-加热200ºC - 1500ºC (PIC。2） 可选b型热电偶(需额外付费)-加热1200ºC - 1700ºC 一个数字温度控制器30可编程段和+/- 1ºC精度(PIC。3） 温度控制器的时间设置以秒为单位。建议将温度的加热/冷却速率限制在0.3ºC/s(或20ºC/min)以下，1200ºC ~ 1700ºC限制在0.15ºC/s(或10ºC/min)以下 对于1300℃以上的连续加热，请将运行时间限制在1小时以内，以保持底部法兰o形圈的使用寿命 对于高达2000°C的快速镀膜，如需要在碳涂层中，用户可拆除热电偶、氧化铝热块、氧化铝坩埚，负载蒸发材料直接进入钨丝盘管加热器，并使用当前手动控制模式(PIC)。4） 包括四个氧化铝坩埚(最高1700ºC)和两个钨丝加热器。订购备件请参阅可选部分
可旋转的样品架	一个50毫米直径。可旋转的样品台及其百叶安装在上法兰上。 转速:5rpm 从样品夹到蒸发源的距离可从40mm到85mm调整
膜厚分析系统(选配)	精密薄膜和涂层分析系统- EQ-TFMS-LD可提供额外的成本。
真空	KF25真空接口用于连接真空泵 最高的真空度可以达到<1E-5托通过抽夜间可选的涡轮分子泵 涂层需要真空泵。请从以下产品选项中选择 双级旋片真空泵，具有蒸汽捕集器，消除油雾，真空可达1.0E-2 Torr，用于蒸发贵金属材料，如金，银，有机材料。
进气口	内置1/4管接头用于室吹扫或成型气体处理 内置一个针形阀来控制气体流速
可选	可在TMAX订购额外的氧化铝坩埚和钨盘管加热器，费用额外
总尺寸
石英室尺寸	外径:280毫米(11) 内径:260mm(10.2”) 长度:310mm(12.2”)
合规	CE认证
保修	一年的有限保修和终身支持
净重	80公斤
重量和尺寸	200磅，40" x 30" x 32"
应用笔记	为了达到某些材料蒸发所需的高真空，用户可以 检查腔室，o形圈和法兰是否有颗粒，纤维或划痕。使用用异丙醇(IPA)沾湿的无绒纸巾擦拭表面 使用加热胶带在150ºC烘烤室，并在500ºC预热盘管加热器和坩埚，同时用可选的涡轮泵泵送至少2小时 如果需要高于1.0E-5 Torr的真空度，则在夜间不加热泵腔 不要启动加热程序或手动增加电流，没有一个封闭的室和真空! 涂布机在蒸发操作时，请勿释放真空或停止抽吸!在加热器冷却期间，只有当温度降低到100℃以下时，才停止抽吸或释放真空!

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1、标准出口包装:内部防撞，外部出口木箱包装。

2 .发货方式有快递、空运、海运等，可根据客户要求寻找最合适的方式。

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