产品类别
联系我们
- 如果您有任何问题,请联系我们,所有问题都会得到解答
- 电子邮件 :David@tmaxcn.com
- 电子邮件 :Davidtmaxcn@gmail.com
- 添加 :中国福建省厦门市海沧区信阳新昌路39号
实验室两区CSS炉快速热加工高达3"直径。& 650ºC。
型号:
传递- 1200 x - rtp - ii合规:
CE认证质量保证:
一年的有限保修和终身支持MOQ:
1支付:
信用证、D/A、D/P、电汇、西联汇款交货时间:
15天
- 电子邮件 :David@tmaxcn.com
- 电子邮件 :Davidtmaxcn@gmail.com
- 微信:微信18659217588
实验室两区CSS炉快速热加工高达3"直径。& 650ºC。
OTF-1200x-RTP-II是两个加热区快速热加工炉,11“O.D石英管。它专为PVD或CSS而设计(近间隔的升华)薄膜涂层直径可达3"或2"x2"的正方形。炉体由两组卤素加热器(上、下)分别加热,最大加热温度为50℃。20ºC / s升温速率。两个30段精密温度控制器内置+/-1ºC精度。包括RS485端口和控制软件,允许操作炉和温度曲线记录通过PC机。它是研究新一代太阳能电池薄膜如碲化镉、硫化物、磷等的优良工具Erovskite太阳能电池。
规格:
炉结构与真空室 |
·
双加热器,两个温度控制器,双通道气体流量计集成到一个移动铝合金框架
·
采用高纯度熔融石英管制成
·
石英管尺寸:11”外径/10.8”ID x 9”高
·
真空法兰采用316不锈钢制造
·
外形尺寸:850(L)×745(W)×1615(H) mm
|
真空法兰 |
·
顶部法兰与一个KFD-25真空港口和两个燃气出口(所需1/4“管道)可以手动向上或向下滑动,以容易地装载和卸载基板并蒸发材料
·
底部法兰有一个KFD-25真空港,有两个气体入口(需要1/4“管道)和针阀
·
法兰采用双硅硅o型密封圈密封,可通过优质机械泵实现最大真空压力10E-2 Torr,分子泵实现最大真空压力10E-5 Torr(不含真空泵,请单独订购)
·
精密防腐蚀数字真空计是标准包装(自2016.03.24起).
|
气体流量计
|
控制面板上安装两个浮子表,测量范围为:
·
16 -160 ml / m
·
400 - 4000毫升/米(用于清洗目的)
|
加热器和样品架 |
·
两个短波红外线灯作为加热元件快速加热。
·
两个加热器之间的距离可调节10-50毫米
·
加热器采用不锈钢制成,带有水冷夹克,以减少热辐射,允许快速冷却
·
3“圆形晶圆架是否内置顶部加热器来装载基板
·
1块高导热AlN板(3英寸直径,0.5mm厚),放置在基材背面,使基材受热均匀
·
一个3“石墨板可用于AIN板,请点击下面的图片订购。
· 卤素灯加热器更换,需额外收费
|
|
·
两个精密数字温度控制器与30段可编程提供独立控制的顶部和底部加热器
·
每个控制器都有PID自动调谐功能,可以保护加热器免受过冲和报警功能,以避免过热和热耦合
·
安装了PC通信接口和软件(单击下面的图片详情)记录温度曲线如下所示
|
|
·
每个加热器的最高温度:<=650ºC
·
两个加热器之间的最大温差:<= 300℃取决于两个加热器之间的距离:
o
间距30 mm的马克斯。温度差异:315℃@只加热底部
o
间隔40mm max。临时区别:350ºC@加热底部
o
间隔50mm max。临时差异:395ºC@加热底部
|
加热和冷却速率
|
·
加热:< 8℃/s(只加热单加热器)
·
冷却:< 10ºC/s(600 - 100ºC)。
|
两个K型热耦合(暴露)分别安装在顶部和底部加热器上
|
|
工作电压
|
208 - 240VAC,单相,20A空断路器
|
电力需求
|
总计2200W(每个加热器1100W)
|
|
·
需要一台真空泵。请按左下方第一张图片单独订购。机械泵真空度可达到< = 10e - 2torr
·
如果您使用的是腐蚀性气体,请考虑使用左图二所示的防腐干泵(德国Pfeiffer泵),费用额外
·
为节约水源,可另行订购循环水制冷机
·
您可以通过单击下面的右侧的第一张照片来选择数字MFC气体输送系统
|
保修
|
一年有限的终身支持(石英管和加热灯等可消耗零件不包括保修)
|
笔记本电脑,软件和WiFi控制(可选)
|
·
全新的笔记本电脑与Microsoft Window 10和Microsoft Office 2013(30天免费试用)立即使用。
·
基于LabVIEW的温度控制系统(eq-mts01.)允许用户编辑温度剖面,管理热处理配方,记录和标绘数据的MTI炉。
·
无线遥控器提供多达300米的操作范围。
·
可应要求提供以上的价格,以额外费用(最高1,000美元)。请与我们联系以获取更多信息。
·
注意: |
申请笔记
|
请阅读文章:高效CSS CDTE太阳能电池
|
|
·
石英管管式炉适用于真空和低压< 0.2 bar / 3psi / 0.02 Mpa。真空压力只能安全使用到1000°C。气体的流速应限制在< 200 SCCM(或200 mL/min),以减少对管的热冲击。
·
注意:两级压力调节器必须安装在气瓶上,以限制3 PSI以下的压力以进行安全操作。
|
1.我们提供机器有电池技术支持。
2.我们供应全套的锂电池设备实验室研究,试点规模研究和生产林e。
1标准出口包装:内部抗污保护,外部出口木箱包装。
2 .发货方式有快递、空运、海运等,可根据客户要求寻找最合适的方式。
3负责运输过程中的损坏,将免费改变您的损坏部分。