两个区域实验室CSS炉，用于快速热处理，最多可达5英寸晶圆在Max.800°C - OTF-1200x-RTP-II-5

OTF-1200x-RTP-II-5是一种快速热加工炉，具有11“I.D.石英室。它设计用于热蒸发或CSS（近间隔的升华)薄膜涂层可达5”直径。圆形样品和800°C最大。炉体由两组卤素加热器(上、下)分别加热，最大加热温度为50℃。10ºC/ s.升温速率。两个30段精密温度控制器内置+/-1ºC精度。包括RS485端口和控制软件，允许操作炉和温度曲线记录通过PC机。它是研究CdTe、硫化物、钙钛矿等新一代太阳能电池薄膜的优良工具。

规格:

炉结构与真空室	· 两个温度控制器。 · 腔室由高纯度熔融石英管制成。 · 石英管尺寸:11”外径/10.8”ID x 9”高 · 真空凸缘由不锈钢316制成。
真空法兰	· 顶部法兰与一个KFD-25真空端口和一个气体出口（所需1/4“管子）可以手动向上或向下滑动，以容易地装载和卸下基板并蒸发材料。 · 底部法兰有一个kfd-25真空端口，带有一个气体入口（需要1/4“管道），带有针阀。 · 法兰通过双硅氧烷O形圈密封，可以实现最大值。通过质量机械泵和10E-5 Torr通过分子泵（不包括真空泵的10E-5 Torr，请单独订购10E-2 Torr的真空压力。 · 顶部法兰上安装了一个数字真空测量仪。 · 精密防腐蚀数字真空计是标准包装（自2016.03.24起）．
气体流量控制	气体混合器集成了两个浮子流量计，可调测量范围16 -160毫升/米
加热器和样品架	· 两个独立控制加热器与手动可调的间隙从2 - 30毫米。 · 20个卤素灯用作加热元件，用于快速热处理。 · 加热器是由不锈钢与水冷夹套，以减少热辐射和允许快速冷却。 · 5“Dia。圆形晶圆夹持器安装在顶部加热器中，用于夹持基板。 · 包括一组高导热ALN板或石墨板（5“直径。×0.5mm厚）（放在底部以蒸发材料） · 为节约水源，配备58L/min循环水冷水机组(详见下图)。
温度控制器	· 两个精密数字温度控制器，具有30个段的可编程可编程，提供独立控制顶部和底部加热器。 · 每个控制器具有PID自动调节功能，以保护加热器的超调和报警功能，以避免过热和热电偶损坏。 · PC通信接口和软件安装用于记录如下所示的温度曲线。 ·
工作温度	· 每个加热器最高温度:<= 800℃。 · 两个加热器之间的最大温差:<= 300℃取决于两个加热器之间的距离: o 间距30 mm的马克斯。温度差异:315℃@只加热底部
加热和冷却速率	· 加热:< 8℃/s(只加热单加热器) · 冷却:< 10ºC/s(600 - 100ºC)。
热电偶	两个K型热耦合分别安装在顶部和底部加热器上。
工作电压	220VAC，单相，60A空气断路器
电力需求	总计9.5kW
维	1085mm长x 680mm宽x 1710mm高
重量及尺寸	· 两个托盘:525磅48" x 40" x 87"和165磅39x31x29"的尺寸
可选	· 需要一个真空泵。请单击下面左侧的第一张照片单独订购。真空水平可以通过机械泵到达<= 10e-2托。 · 如果您运行腐蚀性气体，请考虑使用抗腐蚀性干泵以额外的成本从左​​下方的第二张照片中显示（Pfeiffer泵）。 · 您可以选择数字MFC气体输送系统点击右下方的第一张图片。
保修	一年有限于终身支持（石英管和加热灯等可消耗零件不被保修范围内）。
笔记本电脑，软件和WiFi控制(可选)	· 全新的笔记本电脑与Microsoft Window 10和Microsoft Office 2013（30天免费试用）立即使用。 · 基于LabVIEW的温度控制系统（eq-mts01.）允许用户编辑温度剖面，管理热处理配方，记录和标绘数据的MTI炉。 · 无线遥控器提供多达300米的操作范围。 · 可应要求提供以上的价格，以额外费用（最高1,000美元）。请与我们联系以获取更多信息。 · 注意:软件只兼容达峰时间余万温度控制器
应用须知及警告	· 具有石英管的管炉设计用于真空和低压<0.2巴/ 3 psi / 0.02 MPa。真空压力可能仅安全使用高达1000°C。气体的流速应限于<200 sccm（或200ml / min），以减少管的热冲击。 · 注意为了安全操作，气瓶上必须安装一个两级压力调节器，将压力限制在3psi以下。 · 该炉子的脚踏设计用于在偶数表面上滑动距离

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1标准出口包装：内部抗污保护，外部出口木箱包装。

2 .发货方式有快递、空运、海运等，可根据客户要求寻找最合适的方式。

3负责运输过程中的损坏，将免费改变您的损坏部分。