型式复合分子泵单元由F160 / 620系列复合分子泵性能或FF - 160/500 F系列复合分子泵，泵水平前，隔板阀，前水平线，水保，分子泵电源，高真空测试系统（复合真空计），控制机架上的动力组件并变得清洁超高真空设备。易于安装，操作简单，连接方便，性能可靠，可广泛用于表面分析，加速器技术，半导体设备，等离子技术，电动真空器材制造和真空技术在各种领域。

模型	FJ-620.
进口法兰	dn160lf.	DN160CF.
抽取率L / s（在空中）	600
压缩率N.2 H2	> 10.9. 6×103.
推荐的起始压力	<100 pa.
终极压力（PA）	6×10-6		6×10-7
排气法兰	kf25 / kf40
轴承	精密机械轴承
交流输入频率（v / hz）	380±20/50
环境温度（℃）	0〜40
forpump类型	RVP-6
额定旋转速度（RPM）	42,300
冷却方法	水冷
冷却水压力（MPA）	0.1-0.2.
冷却水温（℃）	<25
安装方法	随机的
重量（kg）	52.
l×w×h	730×520×700
重量	117.