1.气体流出钢瓶，通过减压阀，通过聚四氟乙烯管到达供气系统的进气口，然后通过质子流量计来控制气体流量，再通过空气混合罐，然后进入炉膛的进气口。气体流出空气出口管，通过三通阀，一端连接真空泵，另一端连接空气出口。

2.空气混合箱连接压力表，压力表显示板和质子流量计显示板安装在同一面板上。

3.每条燃气管道均有高压截止阀，保证安全。

4.气路采用高精度气体转子流量计，内部气路采用特氟隆管，具有良好的耐腐蚀性能。

5.所有接头采用卡箍连接，气密性好，耐高压。

6.设备组成:多通道进气管道、质子流量计、空气混合罐、出气管道

特性

1.可根据客户要求定制多个进气通道，接口标准，连接方便

2.液晶触摸屏控制并输入各通道的气体流量，实时查看各通道的气体流量曲线

3.每个气路设有高压截止阀，方便切断气路

规范

气体通道/通道	2/3/4/5/6/7/8/9/10选择
气体类型	由客户选择
流量计范围	5 - 500 sccm; 1-10SLM可选择的
工作电压	220 v / 50 hz
工作压差	0.1 - -0.5 mpa
最大压力	3电影
精度	f.s.±1.5%
线性	f.s.±0.5 ~ 1.5%
质子流量计的对应时间	< 1
测量范围	0.1 - -0.15 mpa
混合槽	党卫军30.4
进出风口	φ6毫米不锈钢卡套接口
管道材料	内管采用直径6mm不锈钢管;外管采用6mm特氟隆管
控制系统	PLC控制系统，液晶触摸屏输入，各气路独立控制