输入功率

• 220 VAC，50 / 60Hz，单相
• 800w(含泵)
• 如果电压为110 VAC，则需要1000 W变压器，请点击左图以订购

来源权力

• 一个13.5 MHz, 300 W RF发生器，自动匹配功能是内置在柜内，并连接到2”溅射头。
• 可选：DC溅射电源可用于涂料金属材料

磁控溅射的头

• 一个2“磁控溅射头与水冷外套包括和插入石英室通过快速夹
• 在法兰（手动操作）上建造了一个快门
• 冷却磁控溅射头需要一台16升/分钟的数控循环水制冷机
• 1“溅射头以额外的成本可更换和可选
• 148厘米射频电缆是可更换的额外费用
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溅射目标

• 目标尺寸要求：2“直径x 1/4”厚度最大
• 将一个SiO2目标包含用于演示测试。
• Al2O3陶瓷目标推荐涂层方法
• 可选的2“溅射目标（带背板）可根据需要额外的价格提供。

真空室

• 真空室:外径160mm ×内径150mm ×高度250mm。由高纯石英制成
• 密封法兰:165毫米直径。铝制高温硅o型环
• 包含不锈钢网眼盖子的100％屏蔽腔室的RF辐射
• 真空水平：1.0E-2托，包括双级机械泵，1.0E-5 Torr可选涡轮泵

样品架

• 样品架是可旋转和可加热的陶瓷加热器与不锈钢盖
• 样品夹尺寸:50毫米直径。对于2"晶圆最大
• 转速可调:1 - 10rpm，使涂层均匀
• holder温度从RT到500°C可调，精度+/- 1.0°C通过数字温度控制器。
• 800- 1000ºC加热样品夹可根据要求提供。
• 可选择振动样品保持电源PVD涂层。(下图三)
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真空泵站

• KF25真空端口内置用于连接真空泵。
• 需要具有KF25适配器的真空泵，但不包括在内..请单击图片单独订购。
• 真空度:1.0E-2托双级机械泵和1.0E-5托涡轮泵

可选

• 可选配精密石英厚度传感器，可内置在箱体内监测涂层厚度，精度为0.10 Å。笔记本电脑要求显示厚度曲线
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总体尺寸

净重

• 70千克

保修和合规性

• 一年有限保修，终身支持
• CE认证
• 根据额外费用，可根据要求提供NRTL或CSA认证

申请笔记

• 这种紧凑的2”射频磁控溅射镀膜机是专为在氧化单晶基片上镀膜氧化薄膜而设计的，通常不需要高真空设置
• 请使用> 5n纯度Ar气体进行等离子溅射
• 为了获得最好的薄膜-基材附着力，涂布前请先将基材表面清洗干净:
• 用下列顺序浴槽(1)丙酮(2)异丙醇)进行超声波清洗以去除油和润滑脂。用N2吹干基材，然后在真空中热烤，除去所吸收的水分
• 表面粗糙化，表面化学键活化或额外的污染去除可能需要等离子体清洁
• 较薄的Cr、Ti、Mo、Ta等缓冲层(~5 nm)可用于改善金属和合金的附着力
• 为了获得最佳性能，非导电靶必须安装铜垫板。请参考下面(#3)的目标键合说明视频
• TMAX采用镀膜剂成功地将氧化锌涂覆在铝上2O3.在500℃（PIC＃5中的XRD分布）
• 不要在水中使用自来水。用DI水，蒸馏水或抗腐蚀性添加剂作为粘性。
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