输入电压

• 220年休假50/60Hz
• 110 V电源可通过使用1000 W变压器（15 A保险丝）.变压器单独销售。

输出功率

• 1600伏直流电
• 250 W
• 最大150 mA。
• 内置过电流保护（>150 mA）

样品室

• 石英玻璃管，165 mm外径。X 150 mm内径X 250 mm高

溅射头&
样品台

• 包括带水冷套的2“柔性磁控溅射头（图1）
• 一个50毫米直径的不锈钢样品台是旋转从0 - 5 RPM
• 一个用于目标保护的手动快门。(图2)
• 溅射头固定器可用于在不工作时固定溅射头。
• 溅射头和样品台之间的距离可在60-100 mm之间调节。
• 最大涂层面积：最大直径4“。
• 一个风冷循环冷水机组10L/min流量用于冷却溅射头(图6）
• 

控制面板

• 6英寸彩色触摸屏控制面板，与PLC集成，易于操作
• 一个用于所有参数监控的面板：真空、电流。

极限真空压力

• 内置KF25真空接口
• 该系统需要一个带压力调节器的Ar气罐(（不包括在内）
• <1.0E-2托叶片式真空泵(不含)Au, Ag, Pt, Cu, Mo靶(对空气不敏感)
• <1.0E-5托涡轮分子泵（不包括）Al, Mg, Li, Lr, Ti, Zn靶(对空气敏感)
• 通过夜间抽吸和烘烤，最低真空度可达到< 4.0E-6 Torr

气氛

• 安装一个针形阀，使Ar进气口获得更好的等离子涂层
• 该系统需要一个带压力调节器的Ar气罐（不包括在内）

目标

·包括一个2“铜靶用于测试，靶尺寸：2”直径x 2.5mm。

• 它也可以被银、铝、铬、镍、铂、钛、锡、锂、镁几乎所有的金属材料。
• 警告：铝，铬或镍靶可使用本机进行涂布，但请在使用前查看推荐的涂布方法。
• 请使用射频等离子体磁控溅射镀膜氧化铝

可选薄膜厚度监控器

• 薄膜厚度监视器是可选的，但需额外付费
• 如有要求，可提供高达500°C的可加热样品台，但需额外付费
• 如有要求，可提供精确控制气体入口的流量计，费用另计。

总尺寸

• 长440毫米×宽330毫米×高290毫米

净重

• 20千克

装运重量和尺寸

• 160磅
• 45英寸x 45英寸x 40英寸

顺从

• CE批准
• NRTL认证可根据要求提供，费用另计，请联系我们的销售代表报价。

担保

• 一年有限终身支持

应用说明

• 警告：溅射头连接到高压。操作时必须戴手套
• 涂布前确保靶材、溅射头、基材和加热阶段清洁干净，每次使用时需要用砂纸和酒精清洁和新鲜铝或镍靶材。