输入功率

• 单相220 VAC，50 / 60Hz
• 700 W（包括真空泵）
• 对于使用110 VAC，我们将为您提供一个变压器。请选择产品选项中的电压

输出功率

• 1600 VDC.
• 40 ma max.

真空室

• 真空室：150 mm ID x 165mm OD x 150 mm h，由高纯度石英制成
• 密封法兰由不锈钢制成，带有平面圈

带加热器的样品阶段

• 阶段尺寸：50毫米直径。
• 溅射距离范围：25 - 40毫米可调节
• 带有三个溅射位置的可旋转阶段（由触摸屏控制）
• 基板加热器内置，最大加热温度为500°C
• PID温度控制器具有+/- 1°C的精度集成到触摸屏中

控制面板

• 6“彩色触摸屏与PLC集成，便于操作
• 真空计，溅射电流表和基板温度控制集成到触摸屏面板
• 用于进气和溅射电流控制的前面板上的调节旋钮
• 溅射位置，溅射定时器和工艺记录可从触摸屏访问

盾

• 不锈钢盾牌笼子包含额外保护

溅射目标

• 目标尺寸要求：47毫米直径。最大x 2.5 mm
• 三个目标包含在标准包中，以便立即使用：
• AU目标，47 mm dia。x 0.12毫米
• AG目标，47 mm dia。x 0.5毫米
• Cu目标，47 mm dia。x 2.5 mm
• 各种目标可在MTI订购

真空泵
（可选的）

• 内置KF25真空端口，用于连接真空泵。
• 需要具有KF25连接器的真空泵，但不包括在内。用户可以选择
• 一种双级机械真空泵真空高达1.0E-2托。
• 或者涡轮泵真空高达1.0E-5 Torr
• 真空泵可以插入涂布机左侧的电源插座以进行自动控制
• 

方面

• 440 mm l×330 mm w×455 mm h

净重

• 50千克

遵守

• CE批准
• 满足认证（UL 1450）可应要求提供额外费用，请联系我们的销售代表

保修单

• 一年有限，终身支持

申请笔记

• 为了最佳的薄膜基板粘合强度，请在涂层前清洁基板表面：
• 超声波清洗用以下顺序浴 - （1）丙酮，（2）异丙醇 - 除去油和油脂。用N 2吹干基材，然后真空热烘烤以除去吸收的水分
• 表面粗糙化，表面化学键活化或额外的污染去除可能需要等离子体清洁
• 薄缓冲层（〜5nm），例如Cr，Ti，Mo，Ta，可以应用于改善金属和合金的粘附性

• 应安装两级压力调节器（不包括），以将气体输出压力限制在0.02MPa以下，以便安全使用。请使用> 5n纯度Ar气体进行等离子溅射
• 可以将溅射涂布机置于AR和N2气体手套箱中以进行涂层
• 高压！溅射头连接到高电压。为了安全，操作员必须在样品加载和目标更改操作之前关闭设备
• 该模型不适用于涂覆由于低能量而涂覆诸如Al，Mg，Zn，Ni等的光金属材料。请考虑我们的磁控溅射涂布机或热蒸发涂布机。单击下面的图片详细信息