功能

• 专为镀膜样品涂布导电金膜而设计
• 小型等离子溅射镀膜机，适用于金、铂、银等金属镀膜
• 一个2“金（4N）目标包括

输入电压

• 220 VAC 50/60Hz, 200W
• < 1000w(含真空泵功率)
• 110VAC电源可用1000w变压器(15a保险丝)．变压器单独出售

输出电压

• 500 VDC.

溅射电流

• 0 - 50ma(最大)可调溅射电流
• 数字式电流表(mA)
• 过电流保护

溅射时间

• 1 -120秒可调

样品室

• 石英玻璃管，外径165毫米。x 150毫米ID x 150毫米高度

样品阶段

• 2“直径
• 高度可调，从样品到目标30 - 80毫米

溅射头

• 2”磁控溅射头
• 一个手动操作快门保护目标

真空压力

• 数字式真空压力表(Pa)
• KF25真空泵接头
• 极限真空压力1pa由机械泵控制。泵不包括在内

真空泵(可选)

• 推荐使用双级旋转叶片泵EQ-FYP。
• 可选：您可以使用a涡轮泵通过涡轮泵实现1.0E-5托尔真空(点击右下角图片)

输入气体

• 安装1/4 Swagelok型管件，用于连接惰性气瓶
• 一个计量阀位于前面板中，用于调节输入气体

目标

• 一个50毫米Dia。X 0.12毫米黄金目标包括在内
  
  
• 4N纯度金箔：50毫米（2英寸）Dia。x 0.12 mm（包括在涂布机上并安装）
  
• 可选的目标可用（点击下方订购）
  • 非盟的目标（直径50毫米。x 0.12 mm，4n纯度）
  • Pt目标（直径50毫米。x 0.12 mm，4n纯度）
  • AG目标（直径50毫米。x 0.5 mm，4n纯度）

该型号适用于镀金、镀银、镀铂。由于能量低，不适合涂覆铝、镁、锌、碳靶等轻金属材料。请考虑我们的大功率直流/射频磁控溅射镀膜机或热蒸发镀膜机。

产品尺寸和重量

• 460 mm (L) × 330 mm (W) × 520 mm (H)
• 20公斤

运输重量及尺寸

• 80磅
• 尺寸:45" x 45" x 40"

合规

• CE认证
• 准备以额外的费用通过UL / CSA认证。

保修

• 一年有限，终身支持

应用笔记

• 为了获得最佳的膜基附着力，请在涂装前清洗基基表面:
• 超声波清洗(点击下面的图片顺序)用以下顺序浴(1)丙酮，(2)异丙醇-去除油和油脂。用氮气吹干基材，然后在真空中热烘以去除吸收的水分
• 表面粗糙化，表面化学键活化或额外的污染去除可能需要等离子体清洁（点击下面的图片）
• Cr、Ti、Mo、Ta等较薄的缓冲层(~5 nm)可用于改善金属和合金的附着力

• 应在气缸上安装两级压力调节器（未包括），以限制气体的输出压力至0.02MPa以进行安全使用。请使用> 5N纯度Ar气体进行等离子溅射
• 溅射涂布机可以置于AR和N2气体手套箱中以进行涂层
• 请多次涂布以增加涂层厚度，由于机器没有水冷却，请在每次使用之间让机器冷却几分钟
• 高压！溅射头连接到高电压。为了安全，操作员必须在样品加载和目标更改操作之前关闭设备
• 该模型不适用于涂覆由于低能量而涂覆诸如Al，Mg，Zn或碳目标的光金属材料。请考虑我们的磁控管溅射涂布机或热蒸发涂布机。（点击下面的图片进行详细信息）