紧凑的结构

输入功率

• 单相220 VAC 50/60 Hz
• 2000w(含真空泵、冷水机)

源动力

• 两个溅射电源集成在一个控制箱中
• DC源：500 W用于涂层金属材料（PIC 1）
• RF源：300 W功率，13.56 MHz涂层非导电材料（PIC 2）

磁控溅射头

• 两个2"磁控溅射头配有水冷护套和百叶窗
• 一个吐痰的头模型也可用在本产品页面（产品选项中）
• 一种连接到涂层金属材料的DC源
• 另一个连接射频源，用于非导电材料
• 目标尺寸要求：2“直径
• 金属和非导电目标的厚度范围：0.1 - 5 mm（包括背板）
• 一不锈钢目标目标和一个研究成绩AL2O3目标是否包含用于演示测试
• 可选2"溅射靶(或垫板)可根据要求在额外的费用。
• 推荐溅射配方和有用的提示
• 定制涂布机：没有RF的两个直流头;两个没有直流的RF头;3 rf头可根据要求提供
• 可选：148厘米射频电缆可按额外的成本订购（点击右订购的第1张照片）

真空室

• 真空室:直径300mm。高x 300毫米，不锈钢制成
• 视口:两片100毫米直径。玻璃。一个固定;一个可拆卸清洗和更换
• 带气动电源杆的铰链式盖子允许易于目标变化

样本阶段

• 样品架是一个可旋转的加热台，由陶瓷加热器和铜盖制成
• 样品保持器尺寸：140 mm DIA。为了。4“晶圆最大
• 转速：1 - 20 rpm可调节均匀涂层
• 保持器温度可通过NOT至500°C最大（2小时最大）可通过数字温度控制器精确+/- 1.0°C可调节至500°C最大（2小时）

气体流量控制

• 安装了两个精密质量流量控制器(MFC)，允许两种气体的进口
• 流速：0 - 200毫升/分钟在触摸屏控制面板上可调节
• 空气入口阀安装用于真空释放

真空泵站

• 包括一个移动泵站。溅射镀膜机可置于工位顶部
• 高速涡轮泵的速度80L/S与两级机械泵(220 L/min)相结合，最大的真空度和更快的泵速
• 与腔室连接的标准真空级:< 4.0E-5 Torr. .(1.0E-6 Torr，室内烘烤)
• 以额外的成本为准
• 如果选用150L/S高速涡轮泵，带室真空可达10- 6torr(带烘烤可达6x10- 7torr)
• 对于超高真空高达10 ^ -7托，除了涡轮泵之外还需要吸气泵（100L / S H2和O2）。请咨询我们的工程师以获取详细的定制。
• 

冷水机

• 一个数字温控再循环冷水机包括在内。
• 制冷范围:5~35°C
• 流速：16 L / min
• 泵压：14 psi

可选的

• 精确的石英薄膜厚度显示器是可选的，可以进入腔室，以监测涂层厚度，精度为0.1A
• 精度薄膜和涂层分析系统- EQ-TFMS-LD是否需要额外付费
• 各种2 "氧化物和金属靶可在额外费用的要求。银环氧树脂和铜底板可在MTI订购

总体尺寸

涂布机的净重

• 160千克

重量和尺寸

• 总2托盘
• ＃1：520磅，52“x 40”x 50“
• #2: 420磅，48" x 40" x 45"

遵守

• CE批准
• MET认证(UL 1450)可提供额外的费用，请联系我们的销售代表报价。

保修单

• 一年的有限保修和终身支持

应用笔记

• 气瓶上应安装两级压力调节器(不包括在内)，将气体输出压力限制在0.02 MPa以下，以保证安全使用
• 为了从腔室中去除氧气，我们建议您使用5％氢+ 95％氮来清洁2-3次，这可以将氧气水平降至<10ppm
• 请使用> 5N纯度氩气用于等离子溅射。尽管5N纯度AR通常含有10-100ppm氧气和H2O，具体取决于供应商。MTI建议您使用气体净化装置在填充之前净化气体。
• 为了获得最佳性能，必须使用铜背板安装非导电目标。请参阅下面的指令视频以进行目标绑定
• Tmax从a到z提供单晶基板
• Tmax溅射涂料在Al上成功涂覆ZnO2O.3.在500°C的衬底
• 测试薄膜/涂层电极的灵活性EQ-MBT-12-LD心轴弯曲测试仪。
• 高压！溅射头连接到高电压。为了安全，操作员必须在样品装载和目标更改操作之前关闭RF / DC发生器
• 不要在水中使用自来水。用水使用冷却剂，二水，蒸馏水或抗腐蚀添加剂