结构紧凑

输入功率

• 单相220 VAC 50 / 60hz
• 2000 W（包括真空泵和水冷却器）

来源权力

• 三个溅射电源集成到一个控制箱中（单击下面的图片以查看详细规格）
• 直流电源:500w功率用于金属材料涂层(图1)
• 射频源:300w功率，13.56 MHz频率用于涂层非导电材料(图2)

磁控溅射的头

• 三个2"磁控溅射头使用水冷却夹克和百叶窗
• 还有一个吐痰头模型。
• 目标尺寸要求:直径2英寸
• 厚度范围:0.1 - 5毫米，适用于金属和非导电目标(包括背板)
• 一个不锈钢的目标和一个研究成绩氧化铝的目标包含用于演示测试
• 可选2"溅射靶(或垫板)可根据要求在额外的费用。
• 推荐的溅射配方和有用的提示
• 定制涂布机:两台直流-一台射频;两个射频-一个直流;三个直流;三种射频(请从产品选项中选择)
• 可选:148厘米射频电缆可以订购额外的费用更换

真空室

• 真空室：300毫米直径。x 300 mm高，由不锈钢制成
• 视口：两件100毫米直径。玻璃。一个固定;一个可拆卸的清洁和更换
• 铰链式盖与气动动力杆，方便目标改变

样品阶段

• 样品架是可旋转且可加热的级，由陶瓷加热器制成，带铜盖
• 样品夹尺寸:140毫米直径。对。4“晶片马克斯
• 转速:1 - 20rpm可调，使涂层均匀
• holder温度可从RT到500°C最大(2小时最大)，精度+/- 1.0°C通过数字温度控制器

气流控制

• 安装了两个精密质量流量控制器（MFC）以允许两种类型的气体入口
  
  
• 流速：0 - 200毫升/分钟＆0 - 100ml / min在触摸屏控制面板上可调
• 安装进气阀，用于真空释放

真空泵站

• 包括移动泵站。溅射涂布机可以放在站顶部
• 速度80L / S的高速涡轮泵与两个级机械泵（220L / min）相结合，可用于最大真空水平，更快的泵送速度
• 标准真空水平与腔室连接：<4.0e-5托。．（1.0e-6托特与室烘焙）
• 可选，额外收费
• 如果选择一个150L / s高速涡轮泵，真空可以达到10-6托，腔室（6x10-7烘焙烘焙）
• 对于高达10^-7托的超高真空，除涡轮泵外，还需要一个吸气泵(100L/s H2和O2)。详细定制请咨询我们的工程师。
• 150L / S高速涡轮泵
• 吸气剂泵
• 

水冷装置

• 数字控温再循环水冷却器已经包括了。
• 制冷范围：5〜35°C
• 流量:16 L/min
• 泵压力:14 psi

可选

• 精确的石英膜厚监控可选，可进入腔室监测涂层厚度，精度为0.10 Å
• 精确薄膜和涂层分析系统 - EQ-TFMS-LD以额外的成本提供
• 可应要求提供各种2“氧化物和金属目标，以额外费用。银环氧和铜板板可以在Tmax下订购

总体尺寸

涂布机净重

• 160公斤

运输重量和尺寸

• 总3托盘
• 365磅，48" x 40" x 45"
  
  
• 390磅，48"x 40" x 49"
  
  
• 210磅，48" x 40"x 30"
  
  

合规

• CE批准
• 满足认证（UL 1450），可应要求提供额外的费用，请联系我们的销售代表进行报价。

保修

• 一年有限保修，终身支持

申请笔记

• 两级压力调节器（未包括）应安装在气缸上，以限制低于0.02 MPa的气体输出压力以进行安全使用
• 为了去除舱内的氧气，TMAX建议您使用5%氢气+ 95%氮气清洁舱内2-3次，可将氧气水平降低到< 10ppm
• 请使用> 5N纯度氩气进行等离子溅射。尽管5N纯度的氩通常含有10 - 100ppm的氧和水，这取决于供应商。TMAX建议您使用气体净化设备在充气前净化气体。
• 为了获得最佳性能，非导电靶必须安装铜垫板。请参考下面的目标键合说明视频
• TMAX提供从A到Z的单晶衬底
• TMAX溅射涂层成功地在Al上镀膜ZnO2O3.底物在500°C
• 测试薄膜/涂层电极的柔韧性EQ-MBT-12-LD芯棒弯曲测试仪．
• 高电压!溅射头连接到高压。为安全起见，操作人员必须在装样和目标改变操作前关闭射频/直流发电机
• 切勿在冷水机内使用自来水。必须使用防锈冷却剂防止生锈和腐蚀。