输入电压

• 220年休假50/60Hz
• 110v电源可使用a1000w变压器(15a保险丝）.变压器单独销售

输出功率

• 1600 VDC
• 250 W
• 150毫安max。
• 内置过电流保护(> 150ma)

溅射的头

• 包括2”带水冷套的柔性磁控溅射头
• 一个用于目标保护的手动快门
• 在不工作时，可使用溅射头支架来固定溅射头
• 溅射头和样品台之间的距离从60 - 100毫米可调
• 一个水冷再循环水冷水机16升/分流量是否包括用于冷却的溅射头

振动阶段

• 振动台安装在真空室的底部
• 振动速度可从400 - 2000转/分(6 - 33赫兹)调整
• 一个2英寸的粉末容器放置在振动台上。它会在振动过程中旋转
• 建议粉量:< 500mg max。
• 建议粒径:1 ~ 1000微米

真空室

• 石英玻璃管，外径165mm。尺寸:X 150 mm ID X 250 mm高度

控制面板

• 6寸彩色触摸屏控制面板，PLC集成，操作方便
• 一个面板用于所有参数的监测和控制:真空，电流

极限真空压力

• 内置KF25真空接口
• 系统需要一个带压力调节器的Ar气罐(不包括在内)
• < 1.0E-2 Torr by叶片式真空泵(不含)Au, Ag, Pt, Cu, Mo靶(对空气不敏感)
• < 1.0E-5 Torr by涡轮分子泵(不包括在内)Al, Mg, Li, Lr, Ti, Zn靶(对空气敏感)
• 通过夜间抽吸和烘烤，最低真空度可达到< 4.0E-6 Torr

气氛

• 安装一个针形阀，使Ar进气口获得更好的等离子涂层
• 该系统需要一个带压力调节器的Ar气罐(不包括在内)

目标

• 一个2"铜靶包括测试，靶尺寸:2"直径。x 2.5毫米
• 它也可以覆盖Ag, Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn, Li, Mg等几乎每一种金属材料
• 警告:铝，铬或镍可以使用本机进行涂布，但请查看下面目标链接中的推荐涂布方法
• 请使用射频等离子磁控溅射镀膜机镀膜非导电材料和碳

总尺寸

净重

• 20公斤

重量及尺寸

• 160磅
• 尺寸:45英寸x 45英寸x 40英寸

合规

• CE批准
• NRTL (UL 6100)认证可提供额外的费用，请联系我们的销售代表报价

保修

• 一年期限，终身支持

应用笔记

• 警告:溅射头连接到高电压。操作人员操作时必须佩戴手套
• 涂布前确保靶材、溅射头、基材和加热阶段清洁干净，每次使用时需要用砂纸和酒精清洁和新鲜铝或镍靶材
• 注:粉末必须干燥分散后才能涂敷
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