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- 千分尺可调薄膜敷料器- 150毫米宽度
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- 千分尺可调薄膜敷料器- 50毫米
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- 实验室两区CSS炉快速热加工高达3"直径。& 650ºC。
- 四热源超声高真空热蒸发镀膜机(10- 6torr)
- 两区实验室CSS炉用于快速热加工,最高可达5"直径的硅片在最大800°C